真空泵是一個量大面廣的產品✘₪，產量很大✘₪，產值不高✘₪，但它確實是一個直接影響到真空成套裝置效能質量的必不可少的基礎產品↟╃╃☁✘。真空泵的市場根據使用者的需要而發生動態變化↟╃╃☁✘。市場增長的主要驅動力來自於半導體工業的迅速發展以及幹泵和分子泵應用領域的日益擴大↟╃╃☁✘。在我國✘₪，真空泵是一個量大面廣的產品✘₪，但是雖然它的產量很大✘₪，但是產值卻不高↟╃╃☁✘。雖然真空泵是一個直接影響到真空成套裝置效能質量必不可少的基礎產品✘₪，不過在真空泵產品的高階領域.✘₪，國產品牌真空泵並不多✘₪，大量的市場份額被進口企業所把持↟╃╃☁✘。真空泵的市場發展速度可以用日新月異來形容✘₪，幾乎每時每刻都在根據使用者需求的變動而動態變化著↟╃╃☁✘。真空泵市場增長的主要驅動力來自於半導體工業的迅速發展▩▩₪··、真空泵技術不斷革新以及真空泵應用領域的日益擴大↟╃╃☁✘。2015年3月16日✘₪，紐約PRNewswire✘₪，2015-2018中國真空泵行業報告中指出✘₪，真空泵廣泛用於冶金▩▩₪··、化工▩▩₪··、食品▩▩₪··、電子鍍膜等領域✘₪，近年來✘₪，隨著冶金▩▩₪··、化工▩▩₪··、食品等行業的快速發展✘₪，真空泵的市場也增長迅速↟╃╃☁✘。2014年✘₪，中國真空泵的產量達到956萬臺,同比增長了7.2%↟╃╃☁✘。據此預測✘₪，至2018年這個數字很有可能攀升至1184萬臺✘₪，其中有5.5%的年均複合增長率↟╃╃☁✘。1幹泵市場 國外幹泵市場的不斷增長✘₪，其主要驅動來自於半導體行業▩▩₪··、化學工業▩▩₪··、薄膜產業的迅速發展↟╃╃☁✘。在日本✘₪，半導體行業已全部用乾式真空泵代替油封式機械泵✘₪，歐美半導體行業45%以上用乾式真空泵代替了油封式機械泵✘₪，大大提高了產品的效能和質量↟╃╃☁✘。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求✘₪，國外有多級羅茨真空泵▩▩₪··、多級爪式真空泵▩▩₪··、螺桿式真空泵▩▩₪··、渦旋式真空泵▩▩₪··、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等↟╃╃☁✘。極限壓力從10Pa~10-2Pa✘₪，抽速從20m3/h~500m3/h↟╃╃☁✘。據統計✘₪，目前國產幹泵的應用還不足1%✘₪，國內半導體工業用的幹泵全部從國外進口✘₪，其價格十分昂貴↟╃╃☁✘。所以✘₪，我國應大力研究開發幹泵✘₪，使幹泵成為我國真空工業新的經濟增長點↟╃╃☁✘。 乾式真空泵主要應用於半導體▩▩₪··、化工▩▩₪··、電影▩▩₪··、儀器▩▩₪··、醫藥▩▩₪··、食品等範圍廣泛的行業✘₪，市場上超過50%的產品是進口品牌✘₪，尤其在半導體行業中✘₪，絕大多數的真空泵均為國外品牌✘₪，國產真空泵主要應用於化工等行業↟╃╃☁✘。 2水環式真空泵市場 水環式真空泵行業在國內和國際市場上發展形勢都十分看好✘₪，我國這幾年的水環式真空泵發展態勢十分好✘₪，專家預測✘₪，到2020年✘₪，中國的水環式真空泵進口額將達到驚人的50億美元✘₪，超過美國的49億美元成為世界上最大的水環式真空泵進口國↟╃╃☁✘。屆時將排在水環式真空泵進口額3到6位的分別是│·：日本▩▩₪··、印度▩▩₪··、德國和法國↟╃╃☁✘。 近十年來✘₪，在少數水環式真空泵企業的帶動下✘₪，多品種▩▩₪··、密封效能▩▩₪··、強度要求▩▩₪··、調節功能▩▩₪··、動作效能和流通效能✘₪，特別是密封效能✘₪，都有了長足的進步↟╃╃☁✘。但就整體來說✘₪，差距還很大✘₪，有很多工作要做↟╃╃☁✘。 3螺桿式真空泵市場 目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響✘₪，一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求✘₪，因此近年來乾式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替↟╃╃☁✘。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的乾式真空泵.螺桿真空泵屬於非接觸型乾式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速範圍寬▩▩₪··、結構簡單緊湊▩▩₪··、抽氣腔元件無摩擦▩▩₪··、壽命長▩▩₪··、能耗低▩▩₪··、無油汙染等優點,但其製造技術為國外掌握,我國尚處於起步階段,市場對於乾式真空泵有迫切的需求↟╃╃☁✘。 目前乾式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段✘₪，很多技術難題還沒有解決↟╃╃☁✘。比如轉子塗層防腐蝕技術▩▩₪··、降低排氣口溫度▩▩₪··、增大轉子面積利用率等問題仍然很棘手✘₪，當抽取一些活潑氣體時✘₪，由於排氣溫度高,安全性也是需要設計中考慮的✘₪，用在需要控制音量的場合✘₪，如何降噪也要成為研究方向↟╃╃☁✘。但其優越的效能決定了它一定會在真空獲得裝置行業占主導地位✘₪，就像現在螺桿壓縮機在行內的統治地位一樣↟╃╃☁✘。 4旋片式真空泵市場 隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大✘₪，直聯旋片泵的需求量越來越大↟╃╃☁✘。由於這種泵數量很多✘₪，加工裝配工作量很大✘₪，價格又很低✘₪，所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠↟╃╃☁✘。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關✘₪，價格又遠比國外的泵便宜✘₪，所以國產泵仍然有競爭優勢✘₪，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的效能質量問題✘₪，確保直聯泵在高速▩▩₪··、高溫下效能穩定和執行可靠✘₪，同時還要進一步提高國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力↟╃╃☁✘。水環真空泵作為新一代節能型產品✘₪，在市場上普遍受歡迎✘₪，水環式真空泵目前已經得到廣泛的使用✘₪，如在工業生產的許多工藝過程中✘₪，如真空過濾▩▩₪··、真空引水▩▩₪··、真空送料▩▩₪··、得到廣泛的應用✘₪，在市場上的需求量大↟╃╃☁✘。 5滑閥式真空泵市場 國內外各種真空爐▩▩₪··、鍍膜機以及乾燥▩▩₪··、浸漬等裝置都是用滑閥泵作為前級泵✘₪，但是滑閥泵鑄件重✘₪，加工工作量較大✘₪，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴↟╃╃☁✘。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場✘₪，必須進一步降低泵的振動噪聲✘₪，杜絕噴油和漏油✘₪，提高滑閥泵長期執行的可靠性↟╃╃☁✘。 6羅茨真空泵市場 從國外羅茨泵生產情況來看✘₪，國外幾家大公司✘₪，如Leybold▩▩₪··、Balzers▩▩₪··、Alcatell▩▩₪··、Edwards和ULVAC✘₪，他們各家羅茨泵的銷售額佔全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%✘₪，這5家總計才20%✘₪，羅茨泵產量不大✘₪，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多↟╃╃☁✘。目前✘₪，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統✘₪，為了縮短抽氣時間▩▩₪··、提高生產效率都配有羅茨泵✘₪，所以國產羅茨泵一定要在佔領國內市場基礎上設法進入國際市場✘₪，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲✘₪，徹底解決軸封漏油問題✘₪，改進泵的外觀質量✘₪，提高泵內的光潔度和清潔度↟╃╃☁✘。另外✘₪，還要考慮到有些國家和地區的電源頻率為60Hz✘₪，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期執行的可靠性↟╃╃☁✘。 目前✘₪，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快✘₪，技術上已經成熟↟╃╃☁✘。由於這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器✘₪，其中一部分被冷卻的氣體透過管道返回泵腔以冷卻轉子✘₪，從而使壓縮熱得平衡✘₪，所以這種泵可以直排大氣↟╃╃☁✘。為了滿足不同極限真空度的要求✘₪，這種泵可以串聯使用✘₪，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵✘₪，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級↟╃╃☁✘。這種泵由於在泵腔內沒有工作介質✘₪，實際上也是屬於幹泵↟╃╃☁✘。目前✘₪，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油▩▩₪··、化工▩▩₪··、塑膠▩▩₪··、農藥▩▩₪··、汽輪機轉子動平衡▩▩₪··、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期執行的考驗✘₪，所以應該在國內大力推廣和應用↟╃╃☁✘。 7分子泵市場 分子泵在國外半導體領域裡的許多工藝場合是用來代替低溫泵✘₪，尤其是濺射▩▩₪··、刻蝕和LCVD等裝置都彩複合分子泵和牽引泵作為主泵↟╃╃☁✘。 由於分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一✘₪，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長↟╃╃☁✘。為了提高抽速✘₪，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板✘₪，稱之為低溫分子泵✘₪，水蒸汽被低溫板捕獲✘₪，其他氣體則由分子泵抽走↟╃╃☁✘。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用✘₪，既提高了生產效率又改善了膜層質量↟╃╃☁✘。隨著我國半導體工業▩▩₪··、薄膜產業和科學研究事業迅速發展✘₪，分子泵應該是我國真空泵製造業發展的重點↟╃╃☁✘。首先✘₪，分子泵要從小到大建立完整系列✘₪，並研究開發各種複合分子泵▩▩₪··、牽引泵和低溫分子泵✘₪，以滿足不同場合的需要↟╃╃☁✘。 分子泵也廣泛應用於核物理▩▩₪··、電真空和表面科學等領域✘₪，由於半導體行業發展迅速✘₪，真空泵的市場拓展速度很快↟╃╃☁✘。典型的真空泵製造商有瓦里安(安捷倫)✘₪，德國普發✘₪，歐瑞康萊寶✘₪， Busch,和 Osaka Vacuum等公司✘₪，其他製造商主要是國產儀器廠商✘₪，如北京北儀創新真空技術有限責任公司✘₪，成都南光機器有限公司✘₪，中科院瀋陽科學儀器等企業↟╃╃☁✘。但是✘₪，無論是在技術還是在市場發展上✘₪，國外的儀器產品都遠遠超過國內儀器產品↟╃╃☁✘。